建造低成本小体积EUV光源的方法 来源： 蜘蛛网 时间：2008年6月05日 10:12 相干极端紫外线（EUV）的性质，使得它成为激动人心的技术应用的一个极佳候选光源。不过在目前，产生短波长光所需设备非常昂贵和庞大。本期Nature上所介绍的一个新系统有可能同时降低成本和体积。该体系利用通过飞秒激光脉冲与一种气体发生相互作用来产生高谐波的传统原理，但采用了一个通过局部等离子场增强来放大光束的新颖概念。来自一个低强度飞秒激光器的光束被聚焦到一个纳米结构上，后者由分布在一个蓝宝石基质上的领结形状的金元素组成。通过这种方式，也许能够以合理的成本来建造一个笔记本电脑大小的EUV光源。 上一篇 下一篇 TAG: 光源
